英诺激光
AOFEMTO飞秒系列
工业级飞秒激光器

突出的性价比

出色的光斑质量M2<1.3

红外和绿光光源可选

平均功率可高达15W

脉冲宽度小于800fs

优秀的产品质量、可靠的产品设计

突发模式选项

工业级飞秒激光器

概述应用

分体式混合设计飞秒激光器,红外、绿光两种波长可选可调,绿光波段最高功率超过5W,重复频率100~1000kHz?#27573;?#20869;可调,光束质量M2<1.3

·? 喷油嘴钻孔? ? ·? 航空航天脆性材料精密加工 ? ·? OLED加工? ? ·? 高效微纳米?#37117;?#24037;? ? · ?半导体晶圆加工? ? ·? 介入式医疗器件精密加工? ? ·? 电池电极微加工? ? ·? 表面微结构改性等

? AOFemto 1030 AOFemto 515
规格参数 2-100 10-100 20-200 1-100 10-100 20-200
波长 (nm) 1030 515
平均功率 (Watts) 2 10 20 1 5 10
脉冲能量(μJ) 20 100 100 10 50 50
指定频率 (kHz) 100 100 200 100 100 200
重复频率 (kHz) 单脉冲到1000
脉宽 (fs) <800
光束质量 (M^2) <1.3
光斑圆度(%) >85
光束直径 (mm) 2
发散角(mRad) <1.3 <0.7
指向稳定性(prad/C) <20
极化比 100:1线偏振,竖直偏振 100:1线偏振,水平偏振
脉冲-脉冲稳定性(%RMS) <2
平均功率稳定性(%over12 hours) <3
冷开机预热(mins.) <30
待机预热(mins.) <20
环境温度(°C) 15-30
环境湿度(%) 20-80无冷凝
储藏温度(°C) -70
储藏湿度(%) 20-80无冷凝
工作电压(VDC)/需求功率(W) 90-260
线路频率(Hz) 50-60
通信协议 RS-232
冷却方式 水冷
    厚?#20219;?10um的316L不锈?#31181;?#26550;
    厚?#20219;?0um的304不锈钢
    不锈钢片微结构加工
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